2021-11-17 10:18:00 - 米境通跨境電商

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    跨境電商erp一種OPC數(shù)據(jù)采集方法，包括步驟：步驟一、在晶圓上形成多個(gè)測(cè)試圖形；步驟二、采用CD SEM對(duì)各測(cè)試圖形進(jìn)行測(cè)量形成對(duì)應(yīng)的原始測(cè)量圖像；步驟三、對(duì)原始測(cè)量圖像進(jìn)行異常圖像識(shí)別，包括如下分步驟：步驟31、對(duì)各原始測(cè)量圖像進(jìn)行灰度轉(zhuǎn)換形成對(duì)應(yīng)的中間轉(zhuǎn)換圖像；步驟32、對(duì)中間轉(zhuǎn)換圖像進(jìn)行特征值提?。徊襟E33、根據(jù)提取的特征值計(jì)算各中間轉(zhuǎn)換圖像之間的相關(guān)系數(shù)；步驟34、根據(jù)相關(guān)系數(shù)識(shí)別出異常圖像并將異常圖像過(guò)濾掉。能實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的異常圖像識(shí)別和異常數(shù)據(jù)過(guò)濾，并從而能有效減輕OPC數(shù)據(jù)量測(cè)過(guò)程中的工程師人工經(jīng)驗(yàn)干預(yù)，既保證了OPC數(shù)據(jù)采集的有效性，也減輕了OPC工程師的工作負(fù)荷。